Динамикалық сканерлеудің оптикалық жүйесінің оптикасы: 1 дана шағын фокусты линза, 1-2 дана фокус линзасы, Galvo айнасы. Бүкіл оптикалық линза сәулені кеңейту, фокустау және сәулені ауытқу және сканерлеу функциясын құрайды.
Кеңейтетін бөлік теріс линза, яғни сәуленің кеңеюін және қозғалатын масштабтауды жүзеге асыратын шағын фокусты линза, фокустау линзасы оң линзалар тобынан тұрады.Гальво айна гальванометр жүйесіндегі айна болып табылады.
(1) Объектив дизайнын оңтайландыру: Диаметрдің қалыңдық қатынасына оңтайлы қатынасы
(2) Объективтің зақымдану шегі:>30Дж/см2 10нс
(3) Өте төмен сіңіру жабыны, сіңіру жылдамдығы: <20ppm
(4) Гальванометр қалыңдығының диаметрге қатынасы: 1:35
(5) Объектив бетінің дәлдігі:<= λ/5
Объективтен кейінгі линза
| Ең көп кіретін оқушы (мм) | Оптика 1 Диаметр(мм) | Оптика 2 Диаметр (мм) | Оптика 3 Диаметр (мм) | Сканерлеу өрісі (мм) | Диафрагманы тазалау Сканер (мм) | Толқын ұзындығы |
| 8 | 15 | 55 | 55 | 600x600 800x800 | 30 | 10,6 мм |
| 12 | 22 | 55 | 55 | 1600x1600 | 30 | |
| 8 | 16 | 55 | 55 | 600x600 800x800 | 30 | 1030-1090нм |
| 8 | 15 | 35 | 35 | 300x300 | 10 | 532нм |
| 8 | 15 | 35 | 35 | 300x300 | 10 | 355нм |
Рефлекторлы айна
| Бөлім сипаттамасы | Диаметрі(мм) | Қалыңдығы (мм) | Материал | Қаптау |
| Кремний рефлекторы | 25.4 | 3 | Кремний | HR@10.6um,AOI: 45° |
| Кремний рефлекторы | 30 | 4 | Кремний | HR@10.6um,AOI: 45° |
| Талшықты рефлектор | 25.4 | 6.35 | Балқытылған кремний диоксиді | HR@1030-1090nm，AOI: 45° |
| Талшықты рефлектор | 30 | 5 | Балқытылған кремний диоксиді | HR@1030-1090nm，AOI: 45° |
| Талшықты рефлектор | 50 | 10 | Балқытылған кремний диоксиді | HR@1030-1090nm，AOI: 45° |
| 532 Рефлектор | 25.4 | 6 | Балқытылған кремний диоксиді | HR@515-540nm/532nm, AOI: 45° |
| 532 Рефлектор | 25.4 | 6.35 | Балқытылған кремний диоксиді | HR@515-540nm/532nm, AOI: 45° |
| 532 Рефлектор | 30 | 5 | Балқытылған кремний диоксиді | HR@515-540nm/532nm, AOI: 45° |
| 532 Рефлектор | 50 | 10 | Балқытылған кремний диоксиді | HR@515-540nm/532nm, AOI: 45° |
| 355 Рефлектор | 25.4 | 6 | Балқытылған кремний диоксиді | HR@355nm&433nm, AOI: 45° |
| 355 Рефлектор | 25.4 | 6.35 | Балқытылған кремний диоксиді | HR@355nm&433nm, AOI: 45° |
| 355 Рефлектор | 25.4 | 10 | Балқытылған кремний диоксиді | HR@355nm&433nm, AOI: 45° |
| 355 Рефлектор | 30 | 5 | Балқытылған кремний диоксиді | HR@355nm&433nm, AOI: 45° |
Галво айнасы
| Бөлім сипаттамасы | Ең көп кіретін оқушы (мм) | Материал | Қаптау | Толқын ұзындығы |
| 55ммЛ*35ммВт*3,5ммТ-X 62ммЛ*43ммВт*3,5ммТ-Y | 30 | Кремний | MMR@10.6um | 10,6 мм |
| 55ммЛ*35ммВт*3,5ммТ-X 62ммЛ*43ммВт*3,5ммТ-Y | 30 | Балқытылған кремний диоксиді | HR@1030-1090nm | 1030-1090нм |
| 55ммЛ*35ммВт*3,5ммТ-X 62ммЛ*43ммВт*3,5ммТ-Y | 30 | Балқытылған кремний диоксиді | HR@532nm | 532нм |
| 55ммЛ*35ммВт*3,5ммТ-X 62ммЛ*43ммВт*3,5ммТ-Y | 30 | Балқытылған кремний диоксиді | HR@355nm | 355нм |
Қорғаныс линзасы
| Диаметрі(мм) | Қалыңдығы (мм) | Материал | Қаптау |
| 75 | 3 | ZnSe | AR/AR@10.6um |
| 80 | 3 | ZnSe | AR/AR@10.6um |
| 90 | 3 | ZnSe | AR/AR@10.6um |
| 90x60 | 5 | ZnSe | AR/AR@10.6um |
| 90x64 | 2.5 | ZnSe | AR/AR@10.6um |
| 90x70 | 3 | ZnSe | AR/AR@10.6um |
