Жартылай өткізгіш құрылғылар күрделілігі артып, өлшемдері кішірейе беретіндіктен, таза, дәлірек орау процестеріне сұраныс бұрын-соңды болмаған. Осы доменде жылдам тартқан жаңалықтардың бірі - жартылай өткізгіштерді өндіру сияқты нәзік орталарға бейімделген, жанаспайтын, жоғары дәлдіктегі шешім лазерлік тазалау жүйесі.
Жартылай өткізгішті орау өнеркәсібі үшін лазерлік тазалауды дәл не етеді? Бұл мақала оның негізгі қолданбаларын, артықшылықтарын және неліктен ол озық микроэлектроникада тез маңызды процеске айналатынын зерттейді.
Өте сезімтал орталар үшін дәл тазалау
Жартылай өткізгішті орау процесі оксидтер, желімдер, флюс қалдықтары және микро шаң сияқты ластаушы заттардан таза болуы керек көптеген нәзік компоненттерді қамтиды - субстраттар, қорғасын жақтаулары, штамптар, жабыстырғыш төсемдер және микро-коннекторлар. Химиялық немесе плазма негізіндегі өңдеулер сияқты дәстүрлі тазалау әдістері көбінесе қалдықтарды қалдырады немесе шығын мен қоршаған ортаны алаңдататын шығын материалдарын қажет етеді.
Бұл жерде лазерлік тазалау жүйесі ерекше. Фокусталған лазерлік импульстарды қолдана отырып, ол астындағы материалға физикалық түрде тигізбестен немесе зақымдамай-ақ бетіндегі қажетсіз қабаттарды жояды. Нәтиже - жабысу сапасы мен сенімділігін жақсартатын таза, қалдықсыз бет.
Жартылай өткізгішті ораудағы негізгі қолданбалар
Лазерлік тазалау жүйелері қазір жартылай өткізгішті қаптаманың бірнеше сатысында кеңінен қолданылады. Ең танымал қолданбалардың кейбірі мыналарды қамтиды:
Алдын ала жабыстырғыш төсемді тазалау: сыммен байланыстыратын төсемдерден оксидтер мен органикалық заттарды кетіру арқылы оңтайлы адгезияны қамтамасыз ету.
Қорғасынның жақтауын тазалау: ластаушы заттарды тазарту арқылы дәнекерлеу және қалыптау сапасын арттыру.
Субстрат дайындау: Қалып бекітетін материалдардың адгезиясын жақсарту үшін беткі қабықшаларды немесе қалдықтарды жою.
Қалыптарды тазалау: қалыптау құралдарының дәлдігін сақтау және трансферді қалыптау процестеріндегі бос уақытты азайту.
Барлық осы сценарийлерде лазерлік тазалау процесі процестің бірізділігін де, құрылғы өнімділігін де жақсартады.
Микроэлектроникада маңызды артықшылықтар
Неліктен өндірушілер дәстүрлі әдістерге қарағанда лазерлік тазалау жүйелеріне жүгінеді? Артықшылықтары анық:
1. Байланыссыз және зақымсыз
Лазер материалға физикалық түрде тимейтіндіктен, нөлдік механикалық кернеу болмайды - нәзік микроқұрылымдармен жұмыс істегенде маңызды талап.
2. Таңдамалы және нақты
Металдарды немесе сезімтал қалып беттерін сақтай отырып, арнайы қабаттарды (мысалы, органикалық ластаушы заттар, оксидтер) жою үшін лазерлік параметрлерді дәл реттеуге болады. Бұл лазермен тазалауды күрделі көп қабатты құрылымдар үшін тамаша етеді.
3. Химиялық заттар немесе шығын материалдары жоқ
Ылғалды тазалау немесе плазмалық процестерден айырмашылығы, лазерлік тазалау химиялық заттарды, газдарды немесе суды қажет етпейді, бұл оны экологиялық таза және үнемді шешім етеді.
4. Қайталанатын және автоматтандырылған
Заманауи лазерлік тазалау жүйелері жартылай өткізгішті автоматтандыру желілерімен оңай біріктіріледі. Бұл қайталанатын, нақты уақытта тазалауға, өнімділікті арттыруға және қол еңбегін азайтуға мүмкіндік береді.
Жартылай өткізгіштер өндірісіндегі сенімділік пен өнімділікті арттыру
Жартылай өткізгішті қаптамада тіпті ең кішкентай ластану байланыстардың бұзылуына, қысқа тұйықталуға немесе құрылғының ұзақ мерзімді тозуына әкелуі мүмкін. Лазерлік тазалау қосылым немесе тығыздау процесіне қатысатын әрбір беттің мұқият және дәйекті түрде тазалануын қамтамасыз ету арқылы осы тәуекелдерді азайтады.
Бұл тікелей аударылады:
Жақсартылған электрлік өнімділік
Күшті фазааралық байланыс
Құрылғының қызмет ету мерзімі ұзағырақ
Өндірістік ақаулар мен қайта өңдеу жылдамдығы төмендеді
Жартылай өткізгіштер өнеркәсібі миниатюризация мен дәлдіктің шегін итермелейтіндіктен, дәстүрлі тазалау әдістері қарқынмен күресу үшін күресіп жатқаны анық. Лазерлік тазалау жүйесі саланың қатаң тазалығы, дәлдігі және қоршаған орта стандарттарына сәйкес келетін жаңа буын шешімі ретінде ерекшеленеді.
Жартылай өткізгішті орау желісіне лазерлік тазалаудың озық технологиясын біріктіргіңіз келе ме? БайланысКарман Хаасбіздің шешімдеріміз өнімділікті арттыруға, ластануды азайтуға және өніміңізді болашақта қорғауға қалай көмектесетінін білу үшін бүгін.
Жіберу уақыты: 23 маусым-2025 ж