Карманхаас айналары немесе жалпы шағылыстырғыштар лазерлік қуыстарда артқы шағылыстырғыштар және бүктеуші ретінде қолданылады, ал бүктемелер және бүктелген айналар, сыртқы жағынан сәулелік жеткізу жүйелерінде сәулелік итергіштер ретінде қолданылады.
Кремний - жиі қолданылатын айна субстраты; Оның артықшылығы - арзан, жақсы беріктік және жылу тұрақтылығы.
Молибден айнасы Өте қатты беті оны талап ететін физикалық ортаға өте ыңғайлы етеді. Мо айнасы әдетте қысқарды.
Еректерлер | Стандарттар |
Өлшемді төзімділік | +0.000 «/ -0.005» |
Қалыңдығы төзімділік | ± 0.010 « |
Параллелизм: (Плано) | ≤ 3 доға минуттары |
Ашық саңылау (жылтыратылған) | Диаметрдің 90% -ы |
Беттік фигура @ 0.63um | Қуат: 2 Фринг, бұзылу: 1 шаш |
Тырнақ қазу | 10-5 |
Өнім атауы | Диаметрі (мм) | Et (мм) | Жабу |
Айна | 30 | 3/6 | Ешқандай жабын, AOI: 45 ° |
50,8 | 5.08 | ||
Кремний айнасы | 30 | 3/4 | HR @ 106um, AOI: 45 ° |
38.1 | 4/8 | ||
50,8 | 9.525 |